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艺微胜科技 HPT-L7 高精密烤胶机:光刻制程中的程控高精度热管理解决方案
高精密烤胶机在微纳加工行业中的重要地位
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艺微胜 HPT-L7高精密烤胶机面向半导体、微纳制造、光电等领域的研发与中试需求,采用阳极氧化铝加热面板,具备出色的耐腐蚀性与热均匀性。集成多段控温、触控操作、无接触式热处理等功能,支持对多规格晶圆的热处理,尤其适用于高洁净、高稳定性的涂胶前后工艺场景。
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