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桌上型旋转涂布机
产品简介
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▍产品简介
SCP-6LD 桌上型旋转涂布机采用*的分体式结构设计,适用于高精度涂胶应用,能够将液态或胶体材料均匀涂覆在各种基片表面,包括硅片、晶体、石英、陶瓷等。设备支持旋涂和多步编程旋涂,适合Ø10~150mm圆晶尺寸基片的涂胶处理。该涂布机搭载7英寸触摸屏和高级PLC控制系统,操作界面直观易懂,支持精确的实验参数设置及实时运行状态显示。内腔设计可直接拆卸,方便清洗,适应各种不同的涂胶需求,确保操作简便高效。
▍技术特点
1.广泛适用:支持Ø10~150mm基片涂布,适用于光刻胶旋涂、生物培养基制作等多个领域。
2.精密控制:旋涂速度100~10000rpm,1rpm分辨率,确保涂层均匀且精准。
3.灵活编程:单步快速旋涂与多步编程旋涂,支持多组涂敷工艺参数设定。
4.易清洁维护:可拆卸内腔,支持PP、PMMA、PTFE等材质,便捷清洗,满足不同需求。
5.高稳定性:PLC控制系统精准调控,电机进胶保护防止损坏,管路设计便于疏通。
6.便捷操作:7英寸触摸屏,简洁界面实时显示状态和参数,操作直观便捷。
7.稳定可靠设计:配有吸盘(10mm、25mm、50mm、100mm)与无油真空泵,确保稳定操作。
▍技术参数

▍典型应用
SCP-6LD 桌上型旋转涂布机广泛应用于半导体、光电、生物医药等领域,适用于光刻胶旋涂、生物培养基制作、溶胶凝胶法高分子薄膜涂布及各类材料研究,满足科研与小批量生产中对多尺寸基片的高精度、均匀涂布需求。