艺微胜SCP-8LSY 桌上型半自动针筒涂布机，专为晶圆级涂布工艺研发与中试场景设计，适用于6英寸和8英寸基板处理。设备采用镜面不锈钢外壳，结构紧凑，便于集成于实验室环境。配备PLC自动化控制系统与全彩触控操作界面，具备强大的工艺编辑、配方管理及多段式参数设置能力，精准控制旋涂全过程。适合进行光刻胶、感光胶等材料的均匀旋涂，满足高一致性和可重复性需求。

▍产品简介

艺微胜SCP-8LSY 桌上型半自动针筒涂布机，专为晶圆级涂布工艺研发与中试场景设计，适用于6英寸和8英寸基板处理。设备采用镜面不锈钢外壳，结构紧凑，便于集成于实验室环境。配备PLC自动化控制系统与全彩触控操作界面，具备强大的工艺编辑、配方管理及多段式参数设置能力，精准控制旋涂全过程。适合进行光刻胶、感光胶等材料的均匀旋涂，满足高一致性和可重复性需求。

▍技术特点

1.适配性强：支持6"与8"晶圆，覆盖主流中试与实验用基板尺寸。

2.结构紧凑：占地小、适配桌面使用。

3.精工设计：镜面不锈钢机身、具排放管路系统及可调支脚，满足洁净室与实验环境要求。

4.灵活控制系统：采用PLC控制器+触控屏，支持多种操作模式（制程/维修/警示/编辑/配方），一屏掌控。

5.高自由度配方管理：支持50组配方记忆，每组最多20段旋涂步骤，参数可编程（加减速、时间等），满足复杂工艺调控需求。

6.权限管理：支持多级密码权限设定，确保关键参数受控可追溯。

▍技术参数

▍典型应用

本设备广泛应用于半导体前道光刻制程、微电子MEMS结构涂层开发、柔性电子材料旋涂、光电器件制备以及感光材料旋涂等工艺。尤其适用于科研实验室、中试线和高校研发平台对高精度、高一致性旋涂工艺的探索与验证。