艺微胜科技全柜式涂胶加热显影一体化系统

艺微胜科技全柜式涂胶加热显影一体化系统

艺微胜科技CDS-6C 全柜式涂胶显影系统是一款专为高校研究所和实验室设计的高度集成设备。该系统的核心逻辑是将光刻制程中的三大关键环节——匀胶、烤胶、显影——整合于一个紧凑的柜式框架内，旨在以最小的占地面积和性价比，提供一个完整的、功能专业的研发操作平台。

该系统采用坚固的框架结构，外表材质可选不锈钢或 PP，以实现无尘且不吸附颗粒的特性。为保障光刻操作所需的受控环境，设备集成了 FFU 过滤单元、上排风接口和黄色灯光腔体。所有功能模块均可独立工作，操作方式为手动上下样品，这种灵活性适应了科研中多变、小批量的实验需求。

匀胶模块是薄膜制备精度保证的关键。该模块的转速精度高达 + 1rpm，匀胶均匀性控制在≤2%，确保了涂膜厚度的高度一致性。系统采用 PLC 控制，支持存储 50 组 20 步配方，为工程师精确复现和优化复杂的涂覆工艺提供了程序化支持。

烤胶模块则对光刻胶的性能起决定作用。其控温精度和温度均匀性，为前烘和 PEB（曝光后烘烤）提供了稳定均匀的热场，保障了光刻图形的关键尺寸（CD）精度。

显影模块专注于图案的清晰成型和洁净度。该模块适用于 6 寸以内样品，其核心价值在于采用了显影喷嘴与 DIW（去离子水）漂洗喷嘴的双系统。通过 PLC 精准控制摇臂进行药液分配，不仅保证了显影过程的均匀性，更关键的是确保了基片在显影后能被清洗，有效杜绝化学残留对后续工艺的污染。

艺微胜科技CDS-6C 通过 7 寸操作界面实现集中控制，支持系统诊断和密码保护。这款一体化系统凭借其专业级的工艺控制能力和高度集成化的设计，成为科研和教学领域进行光刻工艺研发的可靠工具。