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全柜式涂胶加热显影系统
产品简介
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|---|
▍产品简介
艺微胜CDS-6C 全柜式涂胶加热显影系统是一款为高校研究所及实验室量身定制的高效精密设备。该设备集匀胶、烤胶、显影功能于一体,采用不锈钢或PP外壳设计,确保无尘环境且不吸附颗粒。每个模块可独立工作,设备配有7英寸触控操作界面,支持FFU、上排风接口及重力排废接口等,简化了操作流程,提升了实验效率。无论是精密控温还是药液分配,本设备都能满足严苛的实验需求。
▍技术特点
1.高精度涂胶与烤胶控制
涂胶模块转速20-5000 R.P.M,精度±1 rpm,烤胶模块控温精度±0.2℃,确保工艺稳定。
2. 智能PLC控制系统
支持50组配方、20步操作,具备程序存储与密码保护,简化操作与数据管理。
3.模块化设计与独立操作
匀胶、烤胶、显影模块可独立工作,提升灵活性与效率。
4. 精准药液分配与清洗功能
PLC控制分配臂,转速±1 R.P.M,配备去离子水清洗喷嘴,确保精细处理。
5.优化设计,简化操作
7英寸触摸屏,简便直观,快速设定与操作,兼容多种吸盘规格。
▍技术参数

▍典型应用
全柜式涂胶加热显影系统广泛应用于半导体、光电、太阳能电池及精密制造领域,特别适用于高校研究所及实验室中的样品处理和实验研发。其高精度的控制系统和多功能模块,能有效提升研发效率和工艺精度,特别适合用于涂胶、烤胶、显影等精细化学处理工艺。