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桌上型旋转涂布机
产品简介
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|---|
▍产品简介
艺微胜SCP-8LD桌上型旋转涂布机,专为硅片等半导体基材的表面涂布工艺设计,能够精确将光刻胶、感光涂料或油墨涂覆在基材表面,并在后道烘干工艺中保障涂布质量。采用7寸触摸屏操作和进口电机,确保稳定的工作表现。设备结构坚固,吸盘平整度和涂布均匀性高,能显著减少涂布误差和飞片风险。同时,桌上型旋转涂布机还配备真空负压数值显示和低真空报警装置,有效保障工艺的稳定性。
▍技术特点
1. 高精度涂布控制:吸盘平整度精磨,均匀性≤1%,转速1-3000秒可调,PLC控制加速度,工艺稳定无飞片。
2. 智能安全设计:进口电机运行近零震动,电气模块隔离防漏液,带真空负压显示及低压报警,保障安全。
3. 高效便捷操作:HMI整合PLC,触屏编辑50组配方,密码保护,配备光胶过滤器与废液桶,维护省心。
▍技术参数

▍典型应用
赋能半导体、微电子、光电领域,特别适配硅片光刻胶涂布、感光材料处理,助力实验室研发及小批量生产的高精度需求。