艺微胜SCP-12LD桌上型旋转涂布机，是专为半导体、光电及精密制造领域设计的一款高性能设备，支持12英寸硅片及大尺寸基板的涂布、光刻胶处理与表面处理工艺。该设备采用高精度伺服电机驱动系统，配合PLC智能控制，能高效完成精密的涂布任务，适用于光刻、感光涂料涂布等高精度工艺要求。整机采用坚固的不锈钢外壳与PTFE盆罩，保证设备稳定运行且易于清洁，确保工作过程中的高效与安全。

▍产品简介

艺微胜SCP-12LD桌上型旋转涂布机，是专为半导体、光电及精密制造领域设计的一款高性能设备，支持12英寸硅片及大尺寸基板的涂布、光刻胶处理与表面处理工艺。该设备采用高精度伺服电机驱动系统，配合PLC智能控制，能高效完成精密的涂布任务，适用于光刻、感光涂料涂布等高精度工艺要求。整机采用坚固的不锈钢外壳与PTFE盆罩，保证设备稳定运行且易于清洁，确保工作过程中的高效与安全。

设备提供了手动喷涂及精确的配方设置功能，配备了真空负压检测和保护系统，能够有效预防飞片风险，确保生产的稳定性与安全性。操作界面为7寸触摸屏，简单易用，适合实验室与中高规模生产的需求。

▍技术特点

1.大尺寸基板支持

专为12英寸硅片和大尺寸基板设计，满足大规模半导体和光电工艺的精密涂布需求。

2.高精度伺服电机驱动

支持20-5000转/分钟的转速范围，精度达±1rpm，确保涂布过程中的均匀性与稳定性。

3.智能PLC控制系统

配备PLC系统与触摸屏操作界面，支持50组配方设置，每组最多可设定20个操作步骤，简化操作与参数管理。

4.安全与保护设计

配有真空负压检测、下限保护和间接防护设计，有效减少设备损坏和飞片风险，保障生产稳定性。

5.易清洁和维护

使用不锈钢与PTFE材料，表面不易吸附颗粒，便于日常清洁与维护，保证设备长期高效运行。

6.可调喷涂功能

手动喷涂装置，灵活可调，满足不同涂布要求，确保每次涂布精度与一致性。

▍技术参数

▍典型应用

广泛应用于半导体、太阳能电池和光电器件领域，特别适合大尺寸硅片光刻胶涂布、感光涂料均匀涂布及精密化学处理。该设备提供高效、精准的涂布解决方案，优化生产工艺、提升产品质量并减少材料浪费。针对高精度、高稳定性及大尺寸基板处理需求，它是理想之选，为半导体制造及相关行业提供强大技术支持，推动精密制造的创新发展。