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等离子处理机

产品简介

艺微胜 PCS-8LA 是一款专为科研与微纳制造场景打造的等离子处理机,适用于材料表面清洗、活化及改性等多类应用。设备采用 13.56MHz 射频等离子体源,结合不锈钢反应腔、质量流量控制与自动/手动切换的 PLC 控制系统,实现对材料表面的高效、低损伤干法清洗。

产品型号:PCS-8LA
更新时间:2025-08-21
厂商性质:生产厂家
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品牌艺微胜

▍产品简介

艺微胜 PCS-8LA 是一款专为科研与微纳制造场景打造的等离子处理机,适用于材料表面清洗、活化及改性等多类应用。设备采用 13.56MHz 射频等离子体源,结合不锈钢反应腔、质量流量控制与自动/手动切换的 PLC 控制系统,实现对材料表面的高效、低损伤干法清洗。相较常规等离子清洗方式中因强离子轰击导致的热损伤问题,该设备通过精准功率控制与工艺区域优化,显著降低对敏感材料的物理损害,提升处理一致性与可控性,是科研用户与小批量验证工艺的理想选择。

 

▍技术特点

1. 智能控制界面

·全彩触摸屏操作,直观控制各项参数

·高级 PLC 系统实现温度闭环控制,程序稳定可靠

2. 自动升降与无接触烘烤

·支持定时自动升降取片,提高实验效率

·顶针高度任意可调,实现无接触式烤胶

3. 高安全性与结构优化

·内置独立防过热电路,防止意外过温

·设备配有防尘保温上盖,减少热量损失与颗粒干扰

·镜面不锈钢外壳,美观耐用,便于清洁

 

▍技术参数

等离子处理机

 

▍典型应用

等离子处理机广泛应用于半导体、厚膜电路、PCB制程、元器件封装、COG前处理、真空电子、连接器及继电器等行业的精密清洗,以及塑料、橡胶、金属、陶瓷表面活化与生命科学实验。

 

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