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Product Center桌上型半自动显影机
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▍产品简介
DEV-6LS 桌上型半自动显影机设备专为半导体、光电及精密制造领域设计,提供高精度、高可靠性的样品处理解决方案。其核心特点包括精准的转速控制、PLC智能控制系统以及高效的药液喷洒与清洗功能,能够满足对微米级别精度要求的工艺处理需求。
▍技术特点
1.高精度转速控制
桌上型半自动显影机采用交流伺服电机,转速范围为20-3000转/分钟,转速精度达±1转/分钟,确保样品处理过程中的稳定性与高精度要求。
2.PLC智能控制系统
配备触控面板和PLC控制系统,支持手动和自动模式切换,能够根据实际需要灵活设定高达50组配方,每组配方最多支持20步操作。系统提供程序与数据存储功能,提升操作便捷性和数据管理效率。
3.药液分配系统
采用PLC控制的分配臂,能够精准设定臂体位置及操作速度,满足不同工艺需求。药液分配采用高精度喷嘴,配合去离子水清洗喷嘴,确保每次处理的精准性与清洁度。
4.安全保护设计
设备内置真空检测与保护机制,支持数字设定和下限保护,防止液体渗漏,并且在运行结束时提供报警提示,确保操作过程中的安全性。
5.用户友好界面
配备触摸屏,操作简便,且支持多种操作模式,用户可以快速进行设定与调整。
▍技术参数
▍典型应用
此设备广泛应用于半导体、太阳能电池、光电器件的生产与测试,特别适合用于清洗、显影和其他精细化学处理工艺。其高精度、高可靠性使其成为优良制造工艺中的理想选择。